| 厂房概况: |
| 公司占地48000平方米,建有专业生产厂房28000平方米,其中净化等级为10000级的净化厂房5000平方米 |
| 动力设施: |
| 电力:变压器容量5250KVA,输出电压为三相380伏,单相电压为220伏或三相415伏,单相240伏。 |
| 高纯水:电阻率大于10兆欧为每小时20吨,电阻率大于17兆欧为每小时9吨。通过二氧化碳气泡器后,电阻率为1-1.5兆欧。 |
| 氮氢混气:供给能力为320立方米/小时。(13－15％氢含量,0.2Mpa－0.4Mpa) |
| 压缩空气:供给能力为98立方米/分钟。(>0.6Mpa) |
| 真空:供给能力为245升/秒。( <-0.06Mpa ) |
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